因应半导体、光电、面板等高科技产业快速发展需求，台湾工具机大厂积极转型，陆续与科技业者合作，投入薄膜制程、全电式塑料射出、印刷电路板等设备的研发生产，对带动机械产业升级，具有指标意义。
知名工具机大厂如台中精机投入薄膜制程设备，永进机械积极开发全电式塑料射出成型机，福裕事业和美国厂商合作开发分子分解磨床，东台精机与台湾泷泽在印刷电路板钻孔机等领域也大有斩获。
其中，台中精机成立的“薄膜制程中心”最具代表性。台中精机薄膜制程中心以物理气相蒸镀（PVD）制程设备为核心，主要生产的设备以电子枪蒸镀系统、溅镀制程设备及电浆制程为主。
台中精机近年特别强化制程能力，以与客户共同开发制程，并以制程技术能力改善设备，贴近使用者需求。目前，已成功开发铝轮圈外观溅镀制程及大型光学镜头制程。
台中精机薄膜制程中心的前身为真空设备小组，成立于1998年，期间主要以电子枪蒸镀系统组配代工为主，2000年后自主营运，除加强销售服务能力，并积极强化设备开发与制程研发能力，并在2002年更名为薄膜制程中心。
台中精机总经理黄明和指出，目前薄膜制程中心的电子枪蒸镀系统，主要应用于发光二极管制程及Power IC制程，包含金属蒸镀、ITO蒸镀等，客户群包含茂硅、统懋、璨圆、炬鑫及今湛光学等科技大厂。
另外，台中精机溅镀制程由单机逐步发展，最近也成功切入大型连续式溅镀系统，主要应用于平面显示器的玻璃基板镀膜（包含TFT-LCD、STN平面显示器的ITO玻璃），为平面显示器前段生产设备本土化向前跨出一大步。
黄明和说，这项溅镀制程设备主要为金属、陶瓷膜及反应溅镀制程，制程客户群包括胜华科技、龙彩、大同及中兴大学等。事实上，台中精机研发的连续式溅镀系统，质量不输进口产品，售价却比进口产品便宜三至四成。
台湾最大磨床制造厂福裕事业，与美国策略伙伴Compositron公司技术整合，历经二年研发，最近也推出颠覆传统加工原理的“MDP G2分子分解磨床”，标榜以新世纪最尖端的分子分解科技与电解研磨技术，突破长久以来难切削金属的加工瓶颈。
分子分解磨床主要藉分子分解方式，并以电流和磨粒协助去除金属，能够研磨任何导电性材料，没有热、内应力或变形，即使研磨超薄工件也不会变形，更没有重铸的层纹褥。
福裕事业董事长张宝铭指出，这项新技术可以应用于IC、光电、通讯产业、医疗器材、汽车零件业、超精密模具业、航天国防工业等尖端产业，加工石英、石墨、光纤及各种特殊或难切削材料。
台湾最大综合加工机制造厂永进机械，稍早也发表主导性新产品高精密多轴车铣复合加工机。这款新产品适合厂商少量多样、高精密度的生产需求，包括汽车及航天产业，都是永进锁定的目标，标榜可替厂商省下70%加工时间，极具市场竞争力
看好光学等科技产业前景，永进计划投入全电式塑料射出成型机的研发生产。永进机械副总经理柯昆明说，全电式塑料射出成型机的精度高，又具省能与环保效益，包括数字相机镜头等许多光学产品，都必须使用这种设备生产。
黄明和表示，台湾近年来大量投入TFT-LCD面板的生产，相关生产设备却仍以进口为主，尤其前段制程设备更高度仰赖进口品，关键制程技术无异完全掌控在国外设备厂商手中。
业界认为，面板厂进入六代以后的设备所需研发人力、物力更加庞大，更需结合相关单位与有经验的产业及使用者，共同开发新世代设备，提升设备自制率，才能使TFT-LCD产业更具国际竞争力，同时建立台湾薄膜精密设备的生产技术。
