机械加工是陶瓷材料的传统加工技术,也是应用范围最广的加工方法。机械加工主要是指对陶瓷材料进行车削、切割、磨削、钻孔等。其工艺简单,加工效率高,但由于陶瓷材料的高硬、高脆,因此机械加工难以加工形状复杂、尺寸精度高、表面粗糙度低、高可靠性的工程陶瓷部件。下图为切割、磨削、钻削加工示意图。
陶瓷的机械加工示意图
a 切割加工 b磨削加工 c钻削加工
超声波加工是利用产生超声振动的工具(模具),带动工具和陶瓷元件间的磨料悬浮液,冲击和抛磨工件进行加工。随着工具在三维方向上的进给,工具端部的形状被逐步复制在陶瓷工件上。常用的磨料是碳化硼、碳化硅和氧化铝等。一般选用的工作液为水,为提高材料表面的加工质量,也可用煤油或机油作液体介质。研究表明:用金刚石砂轮作超声波振动磨削陶瓷材料时,材料的去除速率随加工强度的增大而增高,只有达到某一临界压强时,磨料对陶瓷材料才有磨削作用。超声波加工的原理略。部分陶瓷材料超声波加工的工艺参数如下表所示。
部分陶瓷材料采用超声波加工的参数表
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>制品名称
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>磨料
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>加工速度(mm/min)
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>磨料
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>磨料目数
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>石英
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>SiC
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>320
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>5.5
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>单晶ZrO2
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>SiC
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>320
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>3.5
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>红宝石
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>SiC
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>280
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>0.8
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>Al2O3
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>SiC
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>280
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>3.6
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>Si3N4
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>B
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>280
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>3.0
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>SiC
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>B
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>280
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>
normal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-ALIGN: center" align=center>3.0
4.激光加工
在陶瓷材料上采用激光钻孔和切割,一般所需激光功率为150W~15kW。但同放电加工一样,由于陶瓷材料热导率低,高能束可能会在材料表面产生热应力集中,形成微裂纹、大的碎屑、甚至材料断裂。激光加工适合于在有机物和陶瓷等无机物材料上进行微钻孔、微切割、制作微结构。目前已能加工直径为4~5μm、深径比达10以上的微孔。通常所用激光源为CO2和Nd:YAG激光。 5.复合加工 针对不同陶瓷材料及陶瓷材料的不同热力学、物化性能,传统机械加工技术不断完善,同时新型加工技术层出不穷。传统加工技术效率高、尺寸精度低、表面光洁度差,各种新型电、热、化学、激光等加工技术适合加工精度要求高、形状复杂同时具有特定性能(导电性、化学特性等)的陶瓷材料,但同时具有加工效率低、要求加工形状尺寸小等。近年来,各种复合加工技术在实验室及工程领域得到广泛重视和应用。各种复合加工技术包括:化学机械加工、电解磨削、超声机械磨削、电火花磨削、超声电火花复合加工、电解电火花复合加工、电解电火花机械磨削复合加工等。工程实践表明:复合加工技术可提高材料的加工 效率和改善加工后材料的表面质量,是陶瓷材料加工技术发展的趋势之一。 下面以化学机械加工中的化学机械效应(Chemmechanical)来说明复合加工的优势。 在陶瓷材料的磨削、切削过程中,喷射的磨削、切削液通过与加工件表面的相互化学键合,对材料的去除率及表面光洁度有显著的影响。由于加工摩擦产生的机械能,引发许多复杂的化学反应。这种所谓的“化学机械效应”直接影响机加工过程中的摩擦系数、刀具或砂轮的磨损率、材料表面的粗糙度及力学性能、材料的去除率等。因此分析和研究磨削、切削液的理化性能对陶瓷材料加工性能的影响,选择适当的切削、磨削液也非常重要。Liang H.等研究了切削液、磨削液与蓝宝石、氧化铝多晶材料、单晶硅、氮化硅、碳化硅和硅玻璃等在加工中的化学机械作用。研究表明:硼酸和硅酸的水溶液分别作为不同陶瓷材料的切削液,其钻孔效率比水和商用切削液提高50%左右。Jahanmir S.等发现,在加工氧化铝多晶材料时,硼酸替代水作切削液,钻孔率提高,而硼酸对蓝宝石和硅基陶瓷材料则末发现相同的效应。估计可能是硼酸与氧化铝多晶材料的无定形晶界相反应,促使晶粒间发生断裂,提高了材料加工过程中的去除率。另一种化合物硅酸不与氧化铝相互作用,却可提高单晶硅、氮化硅、碳化硅材料的加工性能,目前该化学机械作用的机理还不清楚。