德国马尔(Mahr)计量设备公司生产两种表面轮廓两维测量仪,一种是装有轮廓驱动单元的Perthmeter Concept型仪器,另一种是XC10轮廓测量仪。
轮廓驱动单元是仪器的关键部件,根据需要可任选PCV,PGK,PRK和CD型中的一种。它们的扫描长度(行程)各不一样。以PCV200为例,它是坚固耐用、体积小、重量轻、高精度的二维测量单元,水平方向扫描长度达200mm,高度方向测量范围达50mm。测量力在2~120mN之间可调,无需工具就可以很方便地更换扫描臂。驱动器由软件控制来选择测量速度、扫描臂的升降和定位,并全自动给出测量结果。
Mahr轮廓测量仪可测工件轮廓的参数有:半径、角度、距离、坐标插入和建立回归直线、最佳拟合圆、最佳拟合圆弧、定义点、交叉点、直线坐标轴线、均值垂线、均值圆、均值圆弧等。因此,对已知设计参数的轮廓来说,可以将测量结果与设计参数相比较,即得到轮廓的偏差值;对未知设计参数的轮廓来说,经仪器的测量便可得到轮廓的参数值。