传统的精密加工方法有布轮抛光、砂带磨削、超精细切削、精细磨削、珩磨、研磨、超精研抛技术、磁粒光整等。
1、抛光
是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
2、砂带磨削
是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。国外在砂带材料及制作工艺上取得了很大的成就，有了适应于不同场合的砂带系列，生产出通用和专用的砂带磨床，而且自动化程度不断提高，但国内砂带品种少，质量也有待提高，对机床还处于改造阶段。
3、精密切削
用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，还具有较好的光学性质。
精准机械切削加工
4、超精密磨削
用精确修整过的砂轮在精密磨床上进行的微量磨削加工，金属的去除量可在亚微米级甚至更小，可以达到很高的尺寸精度、形位精度和很低的表面粗糙度值。尺寸精度0.1~0.3µm，表面粗糙度Ra0.2~0.05µm，效率高。应用范围广泛，从软金属到淬火钢、不锈钢、高速钢等难切削材料，及半导体、玻璃、陶瓷等硬脆非金属材料，几乎所有的材料都可利用磨削进行加工。 但磨削加工后，被加工的表面在磨削力及磨削热的作用下金相组织要发生变化，易产生加工硬化、淬火硬化、热应力层、残余应力层和磨削裂纹等缺陷。
5、珩磨
用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1µm，最好可到Ra0.025µm，主要用来 加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
6、精密研磨与抛光
通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。
精密研磨抛光机
超精密加工的技术手段
超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。 超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达0.1µm。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工，线宽可达2～5nm。
我国超精密光学零件加工技术
1、超精密切削
超精密切削以SPDT技术开始，该技术以空气轴承主轴、气动滑板、高刚性、高精度工具、反馈控制和环境温度控制为支撑，可获得纳米级表面粗糙度。多采用金刚石刀具铣削，广泛用于铜的平面和非球面光学元件、有机玻璃、塑料制品(如照相机的塑料镜片、隐形眼镜镜片等)、陶瓷及复合材料的加工等。未来的发展趋势是利用镀膜技术来改善金刚石刀具在加工硬化钢材时的磨耗。此外，MEMS组件等微小零件的加工需要微小刀具，目前微小刀具的尺寸约可达50～100 μm，但如果加工几何特征在亚微米甚至纳米级，刀具直径必须再缩小，其发展趋势是利用纳米材料如纳米碳管来制作超小刀径的车刀或铣刀。
2、超精密磨削
超精密磨削是在一般精密磨削基础上发展起来的一种镜面磨削方法,其关键技术是金刚石砂轮的修整,使磨粒具有微刃性和等高性。超精密磨削的加工对象主要是脆硬的金属材料、半导体材料、陶瓷、玻璃等。磨削后,被加工表面留下大量极微细的磨削痕迹,残留高度极小,加上微刃的滑挤、摩擦、抛光作用,可获得高精度和低表面粗糙度的加工表面，当前超精密磨削能加工出圆度0.01μm、尺寸精度0.1μm和表面粗糙度为Ra0.005μm的圆柱形零件。
3、超精密研磨
超精密研磨包括机械研磨、化学机械研磨、浮动研磨、弹性发射加工以及磁力研磨等加工方法。超精密研磨的关键条件是几乎无振动的研磨运动、精密的温度控制、洁净的环境以及细小而均匀的研磨剂。超精密研磨加工出的球面度达0.025μm,表面粗糙度Ra达0.003μm。
4、超精密特种加工
超精密特种加工主要包括激光束加工、电子束加工、离子束加工、微细电火花加工、精细电解加工及电解研磨、超声电解加工、超声电解研磨、超声电火花等复合加工。激光、电子束加工可实现打孔、精密切割、成形切割、刻蚀、光刻曝光、加工激光防伪标志；离子束加工可实现原子、分子级的切削加工；利用微细放电加工可以实现极微细的金属材料的去除,可加工微细轴、孔、窄缝平面及曲面；精细电解加工可实现纳米级精度,且表面不会产生加工应力,常用于镜面抛光、镜面减薄以及一些需要无应力加工的场合。
激光加工
精密和超精密加工，是现代制造业最主要的发展方向之一，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，随着国家决策的科学化、民主化进程不断深入，相信我国的制造业会更快速、更健康地发展。
精密加工技术也用在了高精度流量传感器的制造生产中，上海康汇研发生产的U-How®容积式旋转活塞流量计，测量精度达到1.0级，对各部件的加工精度要求极高，部件尺寸达到μ级精度。
数控车床精加工程序编程：
如图1所示的零件，其材料为45钢，零件的外形轮廓有直线、圆弧和螺纹。欲在某数控车床上进行精加工，编制精加工程序。
图1 车削零件示例
1）依据图样要求，确定工艺方案及走刀路线
按先主后次的加工原则，确定其走刀路线。首先切削零件的外轮廓，方向为自右向左加工，具体路线为：先倒角（1×45°）→切削螺纹的实际路径φ47.8→切削锥度部分→切削φ62→倒角（1×45°）→切削φ80→切削圆弧部分→切削φ80，再切槽，最后车削螺纹。
2）选用刀具并画出刀具布置图
根据加工要求需选用三把刀具。1号刀为外圆车刀，2号刀为3㎜的切槽刀，3号刀为螺纹车刀。刀具布置图见图1（b）。对刀时采用对刀仪，以1号为基准。3号刀刀尖相对于1号刀刀尖在Z向偏量15㎜，由3号刀的程序进行补偿，其补偿值通过控制面板手工输入，以保持刀尖位置的一致。
3）工件坐标系确定
由工件图样尺寸分布情况确定工件坐标系原点O取在工件内端面（如图示）处，刀具零点坐标为（200，350）
4）确定切削用量
切削用量应根据工件材料、硬度、刀具材料及机床等因素来综合考虑，一般由经验确定。本例各刀具切削用量情况如表1所示
表1 切削用量表
5） 编制精加工编程
该系统可以采用绝对值和增量值混合编程，绝对值用X、Z地址，增量值用U、W地址，采用小数点编程。
O0020
N01 G50 X200.0 Z350.0；（工件坐标系设定）
N02 S630 T0101 M03；（用1号刀，主轴正转）
N03 G00 X41.8 Z292.0 M08；
N04 G01 X47.8 Z289.0 F0.15；（倒1×45°角）
N05 W-59.0；（车φ47.8㎜外圆）
N06 X50.0；（退刀）
N07 X62.0 W-60.0；（车削锥度部分）
N08 Z155.0；（车φ62mm外圆）
N09 X78.0；（退刀）
N10 X80.0 W-1.0；（倒角）
N11 W-19.0；（车φ80mm外圆）
N12 G02 U0.0 W-60.0 I63.25 K-30.0；（车削圆弧）
N13 G01 Z65.0；（车φ80mm外圆）
N14 X90.0 M09；
N15 G00 X200.0 Z350.0 M05 T0100；（退刀）
N16 X51.0 Z230.0 S315 T0202 M03；（换2号刀，快速趋近切槽起点）
N17 G01 X45.0 F0.16 M08；（切槽）
N18 G04 X5.0；（延时）
N19 G00 X51.0 M09；（退刀）
N20 X200.0 Z350.0 M05 T0200；（退刀）
N21 G00 X52.0 Z296.0 S200 T0303 M03；（换3号刀，快速趋近车螺纹起点）
N22 G92 X47.2 Z231.5 F1.5 M08；（车螺纹循环，循环4次）
N23 X46.6；
N24 X46.2；
N25 X45.8；
N26 G00 X200.0 Z350.0 T0300；（退至起点）
N27 M30；（程序停止并返回）
