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产品简介： | ||||||||||
仪器特点：
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| 仪器规格参数: |
| 仪器型号 | CMS-554C | CMS-665C | CMS-886C | CMS-10108C | |
| CMS_574C | CMS-685C | CMS-8106C | CMS-10128C | ||
| CMS-584C | CMS-6105C | CMS-8126C | CMS-10158C | ||
| 行程 | X | 500 | 600 | 800 | 1000 |
| Y | 500/700/800 | 600/800/1000 | 800/1000/1200 | 1000/1200/1500 | |
| Z | 400 | 500 | 600 | 800 | |
| 结构形式 | 移动桥式 | 移动桥式 | 移动桥式 | 移动桥式 | |
| 空间精度 | MPEe=(3.0+L/256)um | MPEe=(3.0+L/200)um | |||
| 分辨率 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | |
| 外型尺寸 | 1.21*1.3/1.5/1.6*2.33 | 1.31*1.4/1.6/1.8*2.53 | 1.66*1.9/2.1/2.3*2.85 | 1.85*2.1/2.3/2.6*3.25 | |
| 整机重量： | 980/1120/1200 | 1100/1250/1400 | 2200/2460/2720 | 2600/2880/3300 | |
| 最大承重 | 400 | 500 | 600 | 800 | |
| 包装外型 尺寸 | 1.3*1.6/1.8/1.9*2.22 | 1.4*1.7/1.9 /2.1*2.42 | 1.9*2.3/2.5 /2.7*2.4 | 2.4*2.45/2.65/2.95*2.4 | |
工作环境 | |||||
| 电源 | 220V±10% 50/60Hz | ||||
空气流量 | 120L(min(0.4MPa) | ||||
气源压力 | >=0.5MPa | ||||
温度范围 | 20±2摄氏度 | ||||
湿度 | 40%-70% | ||||
